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白光干涉中，相移技术引入的相位变化

在白光干涉中，相移技术是一种重要的测量方法，它通过引入相位变化来获取被

测物体的表面形貌或厚度等信息。以下是对白光干涉中相移技术引入的相位变化

的详细解释：

一、相移技术的原理

相移技术是通过改变干涉系统中某一束光的相位，并观察干涉条纹的变化来测量

被测物体的特性。在白光干涉中，相移通常是通过改变参考光或测试光的相位来

实现的。当相位发生变化时，干涉条纹的位置、形状和对比度等都会发生变化，

这些变化与被测物体的特性有关。

二、相位变化的引入方式

参考光相位变化：通过改变参考光的相位来引入相位变化。这可以通过在参考光

路中插入相位调制器（如压电陶瓷等）来实现。当相位调制器受到电压或机械力

的作用时，会改变其折射率或长度，从而改变参考光的相位。

测试光相位变化：同样地，测试光的相位也可以通过类似的方式改变。不过，由

于测试光通常要经过被测物体，因此改变测试光的相位可能涉及到对被测物体的

直接操作或调整。

三、相位变化对干涉条纹的影响

干涉条纹的移动：当相位发生变化时，干涉条纹的位置会发生移动。这种移动与

被测物体的表面形貌或厚度变化有关。通过测量干涉条纹的移动量，可以推算出

被测物体的特性。

干涉条纹的对比度变化：相位变化还会影响干涉条纹的对比度。当相位差为整数

倍或半整数倍的π时，干涉条纹的对比度最大或最小。通过测量干涉条纹的对比

度变化，可以进一步了解被测物体的特性。

四、相移技术的应用

相移技术在白光干涉测量中具有广泛的应用价值。例如：

表面形貌测量：通过测量干涉条纹的移动和对比度变化，可以获取被测物体的表

面形貌信息。这对于微纳制造、光学元件检测等领域具有重要意义。

薄膜厚度测量：在薄膜厚度测量中，相移技术可以精确测量薄膜的厚度和折射率

等参数。这对于半导体材料、光学薄膜等领域具有重要意义。

五、注意事项

在使用相移技术进行白光干涉测量时，需要注意以下几点：

相位调制的准确性：相位调制的准确性直接影响测量结果的精度。因此，需要选

择高精度的相位调制器，并严格控制其操作条件。

环境因素的影响：环境因素（如温度、振动等）可能会对测量结果产生干扰。因

此，需要在测量过程中采取适当的措施来减小这些因素的影响。

数据处理和分析：由于白光干涉测量中涉及到大量的数据处理和分析工作，因此

需要采用合适的数据处理方法和算法来提取有用的信息。

综上所述，白光干涉中的相移技术通过引入相位变化来获取被测物体的特性信息。

这种技术在表面形貌测量、薄膜厚度测量等领域具有广泛的应用价值。在使用该

技术时，需要注意相位调制的准确性、环境因素的影响以及数据处理和分析等方

面的问题。

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