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SOI压力传感器结构的仿真剖析与性能优化研究
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技发展的浪潮中，传感器作为信息获取的关键部件，在工业生产、航空航天、生物医学等众多领域发挥着举足轻重的作用。压力传感器作为其中应用最为广泛的类型之一，能够将压力信号转换为电信号，为系统提供精确的压力数据，其性能的优劣直接影响到整个系统的运行稳定性和可靠性。
随着各行业对传感器性能要求的不断提高，尤其是在高温、高压、强辐射等极端环境下，传统的压力传感器逐渐暴露出局限性。例如，传统的硅压阻式压力传感器采用PN结隔离技术，由于PN结本征固有反向饱和漏电流特性，当温度升高时，反向饱和漏电流会成倍累计增加，导
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