除了经典迈克尔逊白光干涉外，Linnik型干涉（林尼克干涉）的测量原理.pdf

Linnik型干涉（林尼克干涉）的测量原理

Linnik型干涉（林尼克干涉）的测量原理主要基于光的干涉现象，即光的波动性

质导致光波在空间中叠加和干涉的现象。以下是对其测量原理的详细解释：

一、基本原理

在Linnik干涉仪中，光源发出的光线经过分光镜后被分为两束：一束直接照射

到被测样品上（称为样本光），另一束则作为参考光。这两束光在干涉仪内部经

过反射和透射后，最终在检测器上相遇并产生干涉现象。干涉产生的波纹图样被

称为干涉图像，该图像包含了关于被测样品的有用信息。

二、光路设计

Linnik干涉仪的光路设计相对复杂，通常包括光源、分光镜、被测样品、物镜、

透镜、反射镜以及检测器等组件。其中，分光镜用于将入射光分为两束；物镜和

透镜则用于将样本光和参考光聚焦到检测器上；反射镜则用于调整光路，使两束

光能够在检测器上相遇并产生干涉。

三、干涉图像的形成与解读

干涉图像的形成：当样本光和参考光在检测器上相遇时，它们会相互叠加并产生

干涉现象。由于两束光的路径差不同，因此会在检测器上形成明暗相间的干涉条

纹。这些条纹的形状、间距和位置取决于被测样品的表面形貌、厚度变化以及光

学特性等因素。

干涉图像的解读：通过观测干涉图像的变化，可以推断出被测样品的性质。例如，

当被测样品的表面存在微小起伏时，干涉条纹会发生弯曲或变形；当被测样品的

厚度发生变化时，干涉条纹的间距也会相应改变。通过对这些干涉图像的分析和

处理，可以获得关于被测样品的详细信息。

四、测量精度与稳定性

Linnik干涉仪具有高精度和稳定性的优点。由于它采用共光路设计，即样本光和

参考光在干涉仪内部经过相同的路径，因此可以减小环境因素对测量结果的影响。

此外，Linnik干涉仪还具有较高的分辨率和灵敏度，能够检测到微小的表面形貌

变化和光学特性差异。

五、应用领域

Linnik干涉仪在光学和材料科学领域具有广泛的应用价值。它可以用于分析材料

的表面形貌、厚度变化和光学特性等参数；还可以用于非破坏性测试，如检测半

导体器件的质量和分析涂层的均匀性等。此外，在生物医学领域中，Linnik干涉

仪也被用于细胞和组织样本的表面分析和光学特性评估等方面。

综上所述，Linnik型干涉（林尼克干涉）的测量原理是基于光的干涉现象，通过

观测干涉图像的变化来推断被测样品的性质。其高精度、稳定性和广泛的应用领

域使其成为光学和材料科学领域中不可或缺的重要工具。

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