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GaN器件金刚石近结集成热管理技术的研究进展

GaN器件金刚石近结集成热管理技术的研究进展（1）．．．．．．．．．．．．．3

一、内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

二、GaN器件概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

GaN器件基本概念及特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

GaN器件应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

GaN器件面临的挑战与问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

三、金刚石热管理技术研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

金刚石热学性质及其热管理应用概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

金刚石散热材料研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

金刚石热界面材料研究与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

四、GaN器件与金刚石近结集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

近结集成技术原理及优势分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

近结集成技术工艺流程研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

近结集成技术中的关键问题及解决方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

五、GaN器件金刚石近结集成热管理技术实验研究与应用进展．．．．．16

实验研究方法及流程设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

实验结果分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

近结集成热管理技术应用案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

六、国内外研究现状及发展趋势预测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

国内外研究现状分析比较．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

GaN器件金刚石近结集成热管理技术发展趋势预测．．．．．．．．．．．．24

七、技术挑战与创新方向探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

GaN器件金刚石近结集成热管理技术的研究进展（2）．．．．．．．．．．．．26

内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

GaN器件概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

2.1GaN基半导体简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.2GaN器件的主要特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

金刚石近结集成的原理和技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

3.1金刚石近结的概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

3.2集成技术的基本原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

器件结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

4.1结构优化的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

4.2设计策略与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

金刚石材料的选择和应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

5.1金刚石材料的优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

5.2材料选择的影响因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

热管理技术研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

6.1热传导机制分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

6.2热阻及散热效率评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

实验方法与测试手段．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

7.1测试设备介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．

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