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21涡流式传感器的应用由于涡流式传感器测量范围大、灵敏度高、结构简单、抗干扰能力强以及可以非接触测量等优点,广泛用于工业生产和科学研究的各个领域。涡流式传感器主要用于位移、振动、转速、距离、厚度等参数的测量。3位移测量*它可以用来测量各种形式的位移量。图是位移计测量示意图。(a)为汽轮机主轴的轴向位移测量示意图;(b)为磨床换向阀、先导阀的位移测量示意图,(c)为金属试件的热膨胀系数测量示意图。图3.2.12位移计测量示意图1-被测件;2-传感器探头测量注塑机开合模的间隙偏心和振动检测零件识别振幅测量为测量发动机涡轮叶片的振幅的示意图;图3.2.13振幅测量示意图为汽轮机和空气压缩机常用的以涡流式传感器来监控主轴的径向振动的示意图;在研究轴的振动时,常需要了解轴的振动形状,做出轴振形图。通常使用数个传感器探头并排地安置在轴附近。用多通道指示仪输出至记录仪。在轴振动时,可以获得各个传感器所在位置轴的瞬时振幅,从而画出轴振形图。1-被测体;2-传感器探头测量悬臂梁的振幅及频率汽轮机叶片测试对桥梁、丝杆等机械结构的振动测量,须使用多个传感器。厚度测量(a)图中,当金属板1的厚度变化时,将使传感器探头2与金属板间距离改变,从而引起输出电压的变化。由于在工作过程中金属板会上、下波动,这将影响测量精度。图3.2.14厚度计测量示意图1-被测物;2-传感器探头在被测板1的上、下方各装一个传感器探头2,其间距离为D,而它们与板的上、下表面分别相距x1和x2,这样板厚,当两个传感器在工作时分别测得x1和x2,转换成电压值后相加。相加后的电压值与两传感器间距离D对应的设定电压再相减,就得到与板厚相对应的电压值。涂层厚度仪*测量线路板的铜膜厚度*转速测量在一个旋转体上开一条或数条槽如图3.2.15(a)所示,或者做成齿,如图3.2.15(b)所示,旁边安装一个涡流传感器。当旋转体转动时,涡流传感器将周期性地改变输出信号,此电压经过放大、整形,可用频率计指示出频率数值。此值与槽数和被测转速有关,即图3.2.15转速测量涡流传感器涡流探伤*可以用来检查金属的表面裂纹、热处理裂纹以及用于焊接部位的探伤等。裂纹将引起金属的电阻率、磁导率的变化。在裂纹处也可以说有位移值的变化。这些综合参数()的变化将引起传感器参数的变化,通过测量传感器参数的变化即可达到探伤的目的。在探伤时,重要的是缺陷信号和干扰信号比。为了获得需要的频率而采用滤波器,如图3.3.16(a)所示,需要进一步抑制干扰信号,可采用幅值甄别电路。把这一电路调整到裂缝信号正好能通过的状态,凡是低于裂缝信号都不能通过这一电路,这样干扰信号都抑制掉了。如图3.2.16(b)所示。01图3.2.16用涡流探伤时的测量信号02电涡流探伤仪电涡流焊管探伤电涡流裂纹探测电涡流传感器4.5电容式传感器1.工作原理及类型S——极板相对覆盖面积;???d——极板间距离;???εr——相对介电常数;???ε0——真空介电常数,;???ε——电容极板间介质的介电常数。dSε变极距(δ)型:(a)、(e)变面积型(S)型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)(h)变介电常数(ε)型:(i)~(l)变极距型电容传感器1C与非线性关系2若△d/d1时,则式()可简化为3若极距缩小△d4最大位移应小于间距的1/105初始电容6在实际应用中,采用差动式改善其非线性7当动极板相对于定极板沿着长度方向平移时,其电容变化量化为变面积型电容传感器C与△x间呈线性关系电容式角位移传感器上一页返回下一页当θ=0时当θ≠0时传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系变介电常数型电容式传感器初始电容电容式液位传感器电容与液位的关系为:可见,传感器的电容量正比于液位的高度hb0为极板的宽度当L=0时,若传感器的初始电容当被测电介质进入极板间L深度后,引起电容相对变化量为电容变化量与电介质移动量L呈线性关系电容式传感器的应用上一页返回下一页电容式加速度传感器贰电容式差压传感器壹容栅式传感器肆电容式振动位移传感器叁第4章位移传感器4.1位移传感器引入电梯超载植物生长过程检测4.2电感式传感器工作原理线圈自感
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