JJF 1306-2011 国家检定校准 规范.docx

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1306—2011

X射线荧光镀层测厚仪校准规范

CalibrationSpecificationfor

X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments

2011-09-14发布

2011-12-14实施

国家质量监督检验检疫总局

发布

JJF1306—2011

X射线荧光镀层测厚仪校准规范

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JJF1306—2011

CalibrationSpecificationfor

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X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments

本规范经国家质量监督检验检疫总局于2011年9月14日批准,并自

2011年12月14日起施行。

归口单位:全国几何量长度计量技术委员会

起草单位:中国计量科学研究院

深圳市计量质量检测研究院

江苏天瑞仪器股份有限公司

本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释

JJF1306—2011

本规范主要起草人:

朱小平(中国计量科学研究院)

王强兵(深圳市计量质量检测研究院)

李玉花(江苏天瑞仪器股份有限公司)

参加起草人:

杜华(中国计量科学研究院)

王蔚晨(中国计量科学研究院)

JJF1306—2011

目

录

范围……………………(1)

引用文献………………(1)

概述……………………(1)

计量特性………………(1)

1

2

3

4

厚度测量重复性……………………(1)

示值稳定性…………(1)

厚度测量示值误差…………………(1)

4.1

4.2

4.3

校准条件………………(2)

5

环境条件……………(2)

校准所用标准器及配套设备………(2)

5.1

5.2

校准项目和校准方法…………………(2)

6

校准前准备…………(2)

厚度测量重复性……………………(2)

示值稳定性…………(2)

厚度测量示值误差…………………(3)

6.1

6.2

6.3

6.4

校准结果表达…………(3)

复校时间间隔…………(3)

7

8

附录A测量结果不确定度评定(示例)……………(4)

附录B厚度标准块的技术要求………(7)

附录C常见典型镀层材料的厚度范围………………(9)

JJF1306—2011

X射线荧光镀层测厚仪校准规范

范围

1

2

本规范适用于X射线荧光镀层测厚仪的校准。

引用文献

本规范引用下列文献:

JJF1001—1998

JJF1059—1999

JJF1094—2002

GBT16921/—2005

通用计量术语及定义

测量不确定度评定与表示

测量仪器特性评定

金属覆盖层

覆盖层厚度测量

X射线光谱方法

使用本规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。

概述

3

X射线荧光镀层测厚仪是一种基于能量色散方法的非破坏性定量分析仪器,具有分

析测量多种金属材料成份和多种镀层厚度的功能,广泛应用于电子、半导体、首饰、材

料分析等行业。X射线荧光镀层测厚仪测量镀层厚度的原理:X射线管产生的初级X

射线照射在被分析的样品上,样品受激发而辐射出二次X射线被探测器接收,此二次

辐射具有该样品材料的波长和能量特征,镀层厚度和二次辐射强度有一定的关系,经多

道分析器及计算机进行能谱分析处理后,计算被测样品的镀层厚度。

X射线荧光镀层测厚仪的工作原理示意图见图1。

图1X

射线荧光镀层测厚仪工作原理示意图

计量特性

4

厚度测量重复性

4.1

4.2

4.3

镀层厚度测量重复性不超