磁控溅射WB₂Cr多层薄膜：结构特征与性能关联的深度剖析.docx

磁控溅射WB?Cr多层薄膜：结构特征与性能关联的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业飞速发展的进程中，薄膜材料凭借其独特的物理化学性质，在众多领域发挥着不可或缺的作用。从电子信息领域的集成电路、平板显示，到航空航天领域的飞行器表面防护、热控系统，再到汽车制造领域的发动机零部件保护、内饰装饰，以及生物医学领域的人工器官涂层、药物缓释载体等，薄膜材料的身影无处不在，已然成为推动各行业技术进步与产品升级的关键因素。

在薄膜材料的大家族中，硬质薄膜以其高硬度、高耐磨性、良好的化学稳定性等优异性能，成为研究的热点之一。硬质薄膜能够有效提高材料表面的硬度和耐磨性，显著降低摩擦系数，增强材