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数控机床导轨误差激光干涉测量与分析研究
目录
数控机床导轨误差激光干涉测量与分析研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．4
一、内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1数控机床导轨误差的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.2激光干涉测量技术的应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
研究目的与任务．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.1研究目的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.2研究任务．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
二、数控机床导轨误差概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
导轨误差定义及分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.1导轨误差定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2导轨误差分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
导轨误差对机床性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
2.1对加工精度的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.2对机床寿命的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
三、激光干涉测量技术原理及特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
激光干涉测量技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.1激光干涉现象介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
1.2激光干涉测量技术基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
激光干涉测量技术特点分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
2.1精度高的特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.2非接触测量的优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
四、数控机床导轨误差激光干涉测量研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
数控机床导轨误差激光干涉测量与分析研究（2）．．．．．．．．．．．．．．．27
内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
1.3国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
数控机床导轨误差概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.1导轨误差的定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.2导轨误差的类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.3导轨误差的影响因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
激光干涉测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
3.1激光干涉原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.2激光干涉测量系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
3.3激光干涉测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
数控机床导轨误差激光干涉测量系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.1系统总体方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.2光路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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