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基于TSV的异构型螺线管电感设计与理论建模.pdf

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    中文摘要

    电感是滤波器、振荡器等模拟和射频(RadioFrequency,RF)电路中的必要元

    件，其性能的优良与否影响着整个器件的工作性能。同时，电感能否集成是决

    定射频系统集成程度的关键因素之一，如何缩小占用面积、提升电感值、提高

    品质因数是当前片上电感设计的难点。利用硅通孔(Through-SiliconVia,TSV)技

    术构成的三维螺线管电感与传统的平面螺旋电感相比，具有更高的电感密度，

    且易于集成到三维集成电路中，是当前提高射频电路集成程度的有效的解决方

    案之一。为进一步提升三维

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