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中文摘要
在基于光学干涉测量的应用中，激光的频率噪声限制了测量灵敏度，往往需要对
待测激光频率进行稳定。通常将激光频率锁定到超稳定的光学参考腔（超稳腔）上实
现频率稳定。超稳腔的稳定性受到腔体、腔镜基底以及腔镜镀膜热噪声的限制。在室
温下，可以通过选择合适的材料来优化腔体和腔镜基底的稳定性和热噪声。腔镜镀膜
热噪声与超稳腔所用的高反射镜镀膜层的机械损耗以及厚度有关，可以采用多层多
材料镀膜来抑制该噪声。本论文围绕室温
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