T_WHQASA 12—2024(芜湖市质量与标准化协会发布).pdf

ICS71.120.99

CCSG92

团体标准

T/WHQASA12—2024

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10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座

信

lowerheatingsusceptorproductsof10.5Gchemicalvapordepositionequipment

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2024-12-30发布2024-12-30实施

芜湖市质量与标准化协会发布

T/WHQASA12—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

台

起草。

本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由芜湖通潮精密机械股份有限公司提出。平

本文件由芜湖市质量与标准化协会归口。

本文件起草单位：芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导

体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司。

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本文件主要起草人：司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、

王茹、黄锦祥、张丽。信

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I

T/WHQASA12—2024

10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座

1范围台

本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术

要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。

本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付。

2规范性引用文件平

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本