《微机电系统（MEMS）在微纳米加工中的关键技术与应用》教学研究课题报告.docx

《微机电系统（MEMS）在微纳米加工中的关键技术与应用》教学研究课题报告

目录

一、《微机电系统（MEMS）在微纳米加工中的关键技术与应用》教学研究开题报告

二、《微机电系统（MEMS）在微纳米加工中的关键技术与应用》教学研究中期报告

三、《微机电系统（MEMS）在微纳米加工中的关键技术与应用》教学研究结题报告

四、《微机电系统（MEMS）在微纳米加工中的关键技术与应用》教学研究论文

《微机电系统（MEMS）在微纳米加工中的关键技术与应用》教学研究开题报告

一、研究背景与意义

微机电系统（MEMS）作为一种集微型化、智能化和集成化于一体的新兴技术，近年来在航空航天、生物医疗、汽车电子等领域展现