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HfO2多层铁电薄膜的电学性能研究.docx

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题目:HfO2多层铁电薄膜的电学性能研究

目录

TOC\o1-3\h\z\u1.绪论 9

1.1铁电材料概况 9

1.1.1铁电性 9

1.1.2铁电材料的分类 11

1.1.3铁电材料的应用 11

1.2氧化铪简介 12

1.2.1氧化铪的相结构 12

1.2.2氧化铪铁电性的来源 13

1.2.3氧化铪的性质 13

1.3掺杂对氧化铪铁电性能的调控 14

1.4Hf1-XZrXO2薄膜概述 15

1.5氧化铪基多层薄膜的研究进展 16

1.6氧化铪基薄膜的制备方法 20

1.6.1

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