TZZB 3620-2024 环形线单晶硅棒截断机.docx

ICS25.080.60

CCSJ57

团 体 标 准

T/ZZB3620—2024

环形线单晶硅棒截断机

Loopmono-siliconcuttingmachine

2024-02-15发布 2024-03-15实施

浙江省质量协会 发布

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T/ZZB3620—2024

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I

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II

II

目 次

前 言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4基本参数 1

5型号 2

6基本要求 2

7技术要求 3

8试验方法 4

9检验规则 6

10标志、包装、运输和贮存 7

11质量承诺 8

附录A（规范性）精度项目要求及检验方法 9

前 言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由浙江省质量协会归口。

本文件主要起草单位：天通日进精密技术有限公司。

本文件参与起草单位：嘉兴学院、嘉兴嘉麟智能科技有限公司。

本文件主要起草人：苏静洪、裴忠、张钦亮、梁文、康维东、戴建良、陆吴强、俞佳文、吴酉、翟潇杰、徐海钢、章魏威、周振峰、王锐。

本文件评审专家组长：陈锋。

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环形线单晶硅棒截断机

范围

本文件规定了环形线单晶硅棒截断机的基本参数、型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存和质量承诺。

本文件适用于采用环形金刚线加工直径为200mm～340mm的单晶硅棒截断机（以下简称截断机）。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T307.1—2017滚动轴承向心轴承产品几何技术规范（GPS）和公差值GB/T1958—2017产品几何技术规范(GPS)几何公差检测与验证

GB2894安全标志及其使用导则

GB/T5226.1—2019机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T7344交流伺服电动机通用技术条件

GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T14264半导体材料术语

GB15760—2004金属切削机床安全防护通用技术条件

GB/T17421.1—1998机床检验通则第1部分:在无负荷或精加工条件下机床的几何精度

GB/T17421.2—2016机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定

GB/T17421.5机床检验通则第5部分：噪声发射的确定

GB/T17587.3—2017滚珠丝杠副第3部分：验收条件和验收检验

术语和定义

GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

环形线单晶硅棒截断机 loopmono-siliconcuttingmachine

具备上料、切割头定位、支撑固定、切割、吹干及下料功能，将单晶硅圆长棒采用环形金刚线切割成短硅棒的加工成套设备。

基本参数

截断机的基本参数应符合表1的规定。

表1 基本参数

项目名称

参数

切割头

数量/个

≥1

表1 基本参数（续）

项目名称

参数

切割头

驱动配置

每个切割头可独立控制

金刚线

最大线速度/（m/min）

≥2100

线张力范围/N

0～150

加工直径范围/mm

200～340

型号

截断机型号编制规则如下：

XXHJXX

XX

HJ

XX

切割头数量，采用两位阿拉伯数字01~09表示

产品代号，HJ表示环线截断机

生产厂代号

示例：XXHJ09表示为XXX公司生产的切割头数量为9个的环线截断机。

基本要求

设计研发

应采用计算机辅助软件进行产品结构设计,三维模拟装配方法进行产品验证。

应采用仿真软件对主体结构切割头、床身等的强度、刚性特性进行分析、校核。

应具备满足客户个性化定制需求的模块化、智能化设计研发能力。

原材料与零部件

主轴、线轮轴等处角接触球轴承精度等级应不