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摘要
随着投影技术的飞速发展，数字光处理（DigitalLightProcession，DLP）技术在
超分辨显微镜、3D激光打印以及全息3D显示等领域具有重要作用。其中，数字微
镜器件(DigitalMicromirrorDevice，DMD)作为DLP投影的核心光学调控器件，具有
数百万个高速独立工作的微反射镜单元，数十微秒量级的调控速度以及超高的调控
对比度，在投影领域具有举足轻重的地位。但由于光的波动特性，光学器件产生的
衍射图样对波长的漂移非常敏感，在DMD工作时呈现特殊
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