磁控溅射工艺参数对AlN涂层轴承绝缘性能影响的深入研究.docxVIP

下载本文档

3
0
约4.18万字
约 70页
2025-04-03 发布于广东
举报
版权申诉

磁控溅射工艺参数对AlN涂层轴承绝缘性能影响的深入研究.docx

1、本文档共70页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

磁控溅射工艺参数对AlN涂层轴承绝缘性能影响的深入研究

磁控溅射工艺参数对AlN涂层轴承绝缘性能影响的深入研究（1）．．．4

一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

（一）磁控溅射技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

（二）AlN涂层轴承的应用及绝缘性能的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

（三）研究的必要性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

二、磁控溅射工艺参数分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

（一）磁控溅射原理及工作流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

（二）磁控溅射工艺参数介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

（三）工艺参数对涂层质量的影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

溅射功率的影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

工作气压的影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

气体流量的影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

其他参数的影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

三、AlN涂层轴承的制备与表征技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

（一）AlN涂层轴承的制备流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

（二）涂层表征技术介绍及应用实例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

物理性能表征技术及应用实例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

化学性能表征技术及应用实例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

电学性能表征技术及应用实例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

其他表征技术及应用前景展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

四、磁控溅射工艺参数对AlN涂层轴承绝缘性能影响的研究分析．．．28

磁控溅射工艺参数对AlN涂层轴承绝缘性能影响的深入研究（2）．．29

研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

1.1磁控溅射技术的应用与发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

1.2氮化铝涂层在轴承绝缘领域的应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

1.3研究目的与价值．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

磁控溅射工艺原理及参数分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

2.1磁控溅射工艺基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2磁控溅射工艺关键参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.2.1工作气压．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

2.2.2溅射功率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

2.2.3靶材温度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

2.2.4气氛气体流量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

2.2.5溅射距离．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

磁控溅射工艺参数对AlN涂层结构的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.1涂层形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

3.2涂层厚度测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.3涂层成分与相结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

AlN涂层绝缘性能的表征方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

4.1绝缘电阻测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

4.2电弧击穿测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．

您可能关注的文档

文档评论（0）

文库新人 + 关注: 实名认证

文档贡献者

文库新人

咨询Ta 进入空间

1亿VIP精品文档

更多 >

磁控溅射工艺参数对AlN涂层轴承绝缘性能影响的深入研究.docxVIP