电热夹持器微尺度结构传热特性与温度场优化策略探究.docx

电热夹持器微尺度结构传热特性与温度场优化策略探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微机电系统（MEMS）作为多学科交叉融合的前沿领域，正深刻地改变着人们的生活和产业格局。从智能手机中的加速度计到生物医学领域的微型传感器，从航空航天的微型执行器到汽车电子的微控制器，MEMS技术无处不在，推动着各类设备向小型化、集成化、智能化方向发展。

微夹持器作为MEMS系统中不可或缺的关键执行部件，犹如微观世界的“灵巧手”，承担着对微小目标进行夹持、移动和组装等重要任务，其性能优劣直接决定了微操作的成败。在微机电系统的芯片制造过程中，微夹持器需精准地抓取和放置微小的电子元件