《半导体无尘车间装修工程技术规范》征求意见稿.pdf

T/KSZZXXXX—2025

半导体无尘车间装修工程技术规范

1范围

本文件规定了半导体无尘车间装修的基本规定、材料、施工、验收。

本文件适用于半导体无尘车间（以下简称“无尘车间”）的装修工程的施工和验收。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB50016建筑设计防火规范

GB50058爆炸危险环境电力装置设计规范

GB50073洁净厂房设计规范

GB50303建筑电气工程施工质量验收规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

无尘车间cleanroom

空气中悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式使进入、产生和滞留于室内的粒子最少，室内

温度、湿度、压力等其他相关参数按要求进行控制。

4基本规定

4.1无尘车间装修工程内各专业设计图纸应符合GB50073的有关规定，施工前应进行图纸会审，并

应向相关人员进行书面技术交底，还应对现场进行核查。

4.2施工企业应具有合法有效的装修资质，施工人员应具有相应工种的职业技能。依法需第三方监理

的装修工程，应实行第三方监理，监理企业应具有合法有效的装修监理资质。

4.3施工企业应建立完善的质量保证体系，编制切实可行的施工组织设计和施工方案，确保工程质量

达标。

4.4隐蔽工程的施工、安装及调试，宜在覆盖其外的装修面层进行施工前完成，必须同步进行的，不

应影响隐蔽工程的施工、安装、调试及更换和维修。

4.5施工应严格遵守国家现行安全、劳动保护、防火、防毒的有关规定。

5材料

5.1地面材料

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应采用耐磨、耐腐蚀、耐老化、不产尘、防火并具有稳定持久的防静电性能的材料。

5.2墙面材料

应采用不产尘、不积尘、耐腐蚀、耐清洗、表面光滑、不易吸附静电的材料。

5.3吊顶材料

应采用不产尘、不积尘、重量轻、强度高、防火、防潮的材料。

5.4门窗材料

5.4.1门应采用密闭性好、开启灵活、不产尘、不积尘的材料。

5.4.2窗应采用双层中空玻璃，窗框应采用铝合金或不锈钢材料，表面应光滑、无毛刺。

5.5其他材料

5.5.1净化空调系统的风管应采用不产尘、不积尘、耐腐蚀、保温性能好的材料。

5.5.2各类管道、线缆等材料应具有良好的防火、防潮、耐腐蚀性能。

6施工

6.1地面

6.1.1建筑底层的地面应设置防潮层。

6.1.2当旧地面为涂料、树脂和PVC（聚氯乙烯）板时，应将原地面材料铲除，清理、打磨干净，再

抹找平层，其混凝土强度等级应不小于C25。

6.1.3防静电PVC地板的施工应采用非水溶性导电胶粘贴，非水溶性导电胶中炭黑与胶水的配合比为

1：100，胶的电阻值应小于贴面板的电阻值。

6.1.4地面面层应坚硬不起砂，水泥砂浆强度应不低于M7.5。

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6.1.5铺设地面面积大于140m时，在正式施工前应做小面积示范性铺设。

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6.1.6面积在100m以上时，接地端子应不少于2个，每增加100m，应增设接地端子2个。

6.1.7应按铜箔网布置的设计图铺设导电铜箔网，铜箔厚度应不小于0.05mm，宽度宜为25mm。铜

箔条应平直，不应卷曲和间断。铜箔条应留有足够长度，与接地端子连接。应采用万用表检测铜网确认

全部形成通路，并做好隐蔽工程验收记录。

6.1.8待涂有导电胶的地面和铜箔晾干至不粘手时，应立即铺贴防静电PVC地板，板之间应留有1

mm～2mm的间隙。铺贴到端子处时，应先将连接端子的铜箔条引出，和端子牢固连接，再继续贴板。

6.1.9板间隙应用塑料焊条焊接。

6.1.10地面贴好并清洁后，应涂防静电蜡保护。

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