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中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1613—2017
掠入射X射线反射膜厚测量仪器
校准规范
CalibrationSpecificationforThinFilmThicknessMeasurement
InstrumentsbyGrazingIncidenceX-RayReflectivity
2017-02-28发布
2017-05-28实施
国家质量监督检验检疫总局
发布
JJF1613—2017
掠入射X射线反射膜厚测量仪器
校准规范
JJF1613—2017
CalibrationSpecificationforThinFilmThickness
MeasurementInstrumentsby
GrazingIncidenceX-RayReflectivity
归口单位:全国新材料与纳米计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
参加起草单位:常州市计量测试技术研究所
本规范委托全国新材料与纳米计量技术委员会负责解释
JJF1613—2017
本规范主要起草人:
任玲玲(中国计量科学研究院)
高慧芳(中国计量科学研究院)
参加起草人:
周志峰(常州市计量测试技术研究所)
JJF1613—2017
目
录
引言………………………(Ⅲ)
范围……………………(1)
引用文件………………(1)
概述……………………(1)
计量特性………………(1)
1
2
3
4
4.1仪器2θ角示值误差及重复性……………………()
1
膜厚测量示值误差…………………(1)
膜厚测量重复性……………………(1)
4.2
4.3
校准条件………………(1)
5
环境条件……………(1)
测量标准及其他设备………………(2)
5.1
5.2
校准项目和校准方法…………………(2)
6
校准项目……………(2)
校准方法……………(2)
6.1
6.2
校准结果表达…………(3)
复校时间间隔…………(3)
7
8
附录A仪器膜厚测量示值误差的不确定度评定示例………………(4)
附录B校准记录格式…………………(7)
附录C校准证书(内页)格式………(9)
Ⅰ
JJF1613—2017
引
言
JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001《通用计量术语及定义》、
JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》和JJF1094《测量仪器特性评定》共同构成支
撑本规范制定工作的基础性系列规范。
本规范参考了ISO16413:2013《X射线反射法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度
仪器要求、准直和定位、数据收集、数据分析和报告》(Evaluationofthickness,
densityandinterfacewidthofthinfilmsbyX-rayreflectometry—Instrumentalrequirements,
alignmentandpositioning,datacollection,dataanalysisandreporting)的相关内容。
本规范为首次发布。
Ⅲ
JJF1613—2017
掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
范围
1
2
本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。
引用文件
本规范引用了下列文件:
JJG629—2014多晶X射线衍射仪检定规程
国家计量校准规范编写规则
JJF1071
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本规范。
概述
3
仪器一般由准直的入射X射线光源、样品台、探测系统等部分组成
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