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集成电路先进制造工艺研究

目录

内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2研究目标与范围．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

集成电路制造技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1传统集成电路制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2先进制造工艺的发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3当前主流的先进制造工艺介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

先进制造工艺的关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1微纳加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1.1光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.1.2蚀刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.1.3沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.1.4离子注入技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.2材料科学进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

3.2.1硅基材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.2.2绝缘材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.2.3导电材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

3.3纳米技术在制造中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

3.3.1纳米结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

3.3.2纳米级加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

3.3.3纳米尺度检测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

先进制造工艺的挑战与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

4.1制造成本问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

4.2生产效率提升．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

4.3环境友好型制造技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

4.4未来发展趋势预测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

实例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

5.1国内外先进制造工艺案例对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

5.2成功应用的关键因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

5.3存在问题及解决方案探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

集成电路制造工艺的优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

6.1工艺流程优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

6.1.1流程简化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

6.1.2自动化与智能化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

6.2设备选型与升级．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

6.2.1关键设备选择标准．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

6.2.2设备升级策略．．．．．．．．．