《ESD防护与应用》课件.pptVIP

*************************************EPA的环境控制温湿度要求EPA内的温湿度控制对静电防护至关重要。相对湿度应维持在40%-60%的范围内，这是平衡静电控制和防止潮湿损害的最佳区间。温度通常控制在22°C±3°C，保持稳定避免波动。温湿度传感器应安装在多个位置，实时监测并记录数据。空调系统应专门设计，确保均匀的温湿度分布，避免局部热点或冷点。在冬季供暖期间，应特别注意加湿措施，防止低湿度导致静电增加。1空气净化EPA内的空气质量直接影响静电控制效果。空气过滤系统应能有效去除灰尘和其他颗粒物，通常要求空气洁净度达到ISO14644-1标准规定的Class8或更好。空气流动应设计为层流模式，速度控制在0.2-0.5m/s，既能带走污染物，又不会导致过度摩擦产生静电。化学污染控制也很重要，特别是对于裸芯片和精密电子元件。应控制挥发性有机化合物、酸碱气体等化学污染物，避免对元器件造成腐蚀性损害。2静电消除设备布置离子风机、静电消除棒等主动式静电消除设备的布置应确保全面覆盖工作区域，消除死角。悬挂式离子风机通常安装在工作台上方50-100cm处，覆盖整个工作面；台式离子风机则放置在工作台一侧，对准操作区域。设备应定期测试离子平衡和消除效率，确保性能符合要求。离子平衡电压应控制在±10V以内，放电时间应小于3秒（从1000V衰减到100V）。对于特别敏感的区域，可能需要多台设备协同工作，确保充分的静电消除。3EPA的出入管理1人员进出程序人员进入EPA前必须完成一系列准备工作，包括：穿戴防静电工作服、帽子和鞋子；佩戴防静电手环并测试其有效性；通过脚底测试台检查鞋子的防静电性能。只有所有测试都通过，才能进入EPA。测试结果通常通过通过/失败指示灯直观显示，部分系统还会要求刷卡记录身份信息。离开EPA时，应先完成手头工作，确保敏感器件妥善存放，然后摘除防静电手环，最后脱下防静电服装。应建立定期轮换机制，确保工作人员能定时离开EPA休息，减少疲劳导致的操作失误。2物料进出控制所有进入EPA的物料都应经过静电评估和处理。敏感电子元件必须使用合格的防静电包装，如屏蔽袋、防静电托盘等。普通材料如纸张、塑料等可能需要通过离子风机处理后才能带入。设备和工具应使用防静电版本，或经过特殊处理使其具备防静电性能。物料传递通常通过特设的传递窗完成，窗口两侧应配备离子风机，确保传递过程不引入静电。大型设备进入可能需要临时改变EPA配置，这种情况应制定专门程序，确保不破坏EPA的整体防护效果。3访客管理访客进入EPA需要严格控制。所有访客必须事先预约，并说明来访目的。到达后，访客需要接受简短的ESD防护培训，了解基本注意事项。访客必须在正式员工陪同下进入EPA，并全程遵守所有防护规定。访客应穿戴临时防静电装备，包括防静电外套、鞋套或防静电鞋、手套等。这些装备应定期测试，确保有效性。访客活动范围应有明确限制，避免接触高度敏感的区域或设备。访客信息和进出时间应详细记录，作为追溯依据。EPA内的工作流程操作规程EPA内的各项操作应有明确的标准操作规程（SOP），详细说明每个步骤的正确执行方法和注意事项。这些规程应考虑ESD防护要求，确保操作过程不会产生静电风险。典型的防静电操作规程包括：使用双手操作原则（一手持工具，一手持产品）；避免将敏感器件直接放在工作台上，应使用防静电托盘；工作中断时确保敏感器件放入防静电容器等。工具和设备使用EPA内使用的工具和设备必须是防静电型或经过防静电改造的。常用工具如螺丝刀、镊子、钳子等应使用防静电手柄，金属部分应确保接地。电动工具应经过ESD评估，确认不会产生危险的静电。测试设备如示波器、万用表等应使用防静电探头，并确保正确接地。所有工具和设备应有固定存放位置，使用后立即归位，防止混乱导致工具损坏或丢失。产品转运产品在EPA内的转运是静电风险较高的环节，应特别注意。敏感器件在转运过程中必须使用合格的防静电容器，如防静电托盘、管盒或周转箱。转运容器应清晰标记内容物信息和ESD警示标志。转运过程应轻拿轻放，避免剧烈震动或冲击，防止产生摩擦静电。使用转运车时，车轮应具有防静电性能，通常要求接地电阻小于10^9欧姆。转运路线应事先规划，避免穿过可能有静电危害的区域。EPA的日常维护清洁程序EPA的清洁对维持良好的防静电环境至关重要。清洁应使用专用的防静电清洁剂和工具，避免产生静电或留下绝缘残留物。地板清洁通常使用微纤维拖把和防静电地板清洁剂，严禁使用含蜡产品。工作台面应使用防静电清洁剂和无尘布擦拭，避免直接喷洒液体到工作面上。清洁频率应根据环境洁净度要求确定，