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高性能MEMS惯性器件技术研究进展

目录

高性能MEMS惯性器件技术研究概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1MEMS惯性器件的发展背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2高性能MEMS惯性器件的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究现状与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

高性能MEMS惯性器件的关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1微机械加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1.1光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1.2刻蚀技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1.3焊接与封装技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.2材料与结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.2.1传感材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.2.2结构优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.3驱动与控制电路技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.3.1驱动电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.3.2控制算法研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.4信号处理与分析技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.4.1信号调理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.4.2数据处理算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

高性能MEMS惯性器件的性能提升策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

3.1结构优化与尺寸减小．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

3.2材料创新与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

3.3驱动电路与控制算法优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

3.4多传感器融合技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

3.4.1数据融合算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

3.4.2多传感器集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

高性能MEMS惯性器件的应用实例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

4.1航空航天领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

4.2汽车工业．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

4.3智能手机与可穿戴设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

4.4其他应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

高性能MEMS惯性器件的挑战与未来发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．42

5.1技术挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

5.1.1精度与稳定性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

5.1.2环境适应性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

5.2发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

5.2.1高集成度与多功能化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

5.2.2小型化与低成本．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

5.2.3新材料与新工艺的应用．．．．