汇川inovance PB1200系列等离子电源用户手册-CN.PDFVIP

前言

前言

资料简介

PB1200‑T020‑G1是一款单路非对称方波输出等离子电源，额定功率20kW、瞬时功率可达

30kW，输出频率0~100kHz可调电源。既可以作为溅射电源使用，也可以作为偏压电源使用。具

有敏捷的电弧响应性能和稳定的功率输出。

本产品可广泛应用于泛半导体、光伏电池片、锂电复合铜箔、光学、显示、玻璃、功能、装饰、

工具镀膜等领域。

本手册介绍PB1200电源的功能特性及使用方法，包括产品选型、安装、现场调试、故障诊断及

日常保养与维护等相关说明及注意事项。

版本变更记录

修订日期发布版本变更内容

2025‑03A00手册第一次发布。

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保修声明

正常使用情况下，产品发生故障或损坏，汇川技术提供保修期内的保修服务（产品保修期请详见

订货单）。超过保修期，将收取维修费用。

保修期内，以下情况造成的产品损坏，将收取维修费用。

●不按手册中的规定操作本产品，造成的产品损坏。

●火灾、水灾、电压异常，造成的产品损坏。

●将本产品用于非正常功能，造成的产品损坏。

●超出产品规定的使用范围，造成的产品损坏。

●不可抗力（自然灾害、地震、雷击）因素引起的产品二次损坏。

有关服务费用按照厂家统一标准计算，如有契约，以契约优先的原则处理。

详细保修说明请参见《产品保修卡》。

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目录

目录

前言1

安全注意事项6

1产品信息10

1.1型号与铭牌说明10

1.2产品规格11

1.2.1电气规格11

1.2.2功能规格12

1.2.3环境规格14

1.3部件说明15

1.4产品尺寸16

1.5原理简介16

1.6系统连接图17

2存储与搬运18

2.1存储18

2.2开箱18

2.2.1开箱注意事项18

2.2.2装箱清单19

2.2.3开箱步骤19

2.2.4开箱后检查19

2.3搬运20

2.3.1搬运注意事项20

2.3.2开箱前搬运21

3机械安装23

3.1安全提示23

3.2安装流程图24

3.3安装前准备24

3.3.1安装人员要求24

3.3.2安装环境要求24

3.3.3冷却要求25

3.3.4安装空间要求25

3.3.5安装工具准备26

3.4安装方式说明27

3.5安装前检查28

3.6安装电源29

3.7安装水冷管30

3.8安装后检查30

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目录

4电气安装32

4.1安全提示32

4.2电气连接图33

4.3接线前准备33

4.3.1接线工具准备33

4.3.2线缆准备34

4.4接线前检查35

4.5布线建议35

4.6功率端口的接线37

4.6.1端口说明37

4.6.2接线要求37

4.7控制端口的接线39

4.8地线的连接