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2025年大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书.docx

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    大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书

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    大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书

    目录

    TOC\h\z29079概论 3

    24954一、工艺先进性 3

    958(一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设期的原辅材料保障 3

    472(二)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目运营期的原辅材料采购与管理 4

    26832(三)、技术管理的独特特色 5

    8261(四)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目工艺技术设计方案 7

    17469(五)、设备选型的智能化方案 8

    2811二、建设规划分析 9

    10688(一)、产品规划 9

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