高精度检测技术：高次碳化硅应用.docxVIP

下载本文档

3
0
约5.11万字
约 84页
2025-04-09 发布于广东
举报
版权申诉

高精度检测技术：高次碳化硅应用.docx

1、本文档共84页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

高精度检测技术：高次碳化硅应用

高精度检测技术：高次碳化硅应用（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

高次碳化硅的物理特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1硬度和耐磨性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.2热导性和电导性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

高次碳化硅在工业中的作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1作为耐磨材料的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2作为半导体材料的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

二、高次碳化硅的制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

化学气相沉积(CVD)．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.1原理与过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

1.2主要挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

物理气相沉积(PVD)．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.1原理与过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.2主要挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

三、高精度检测技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

提高产品性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

1.1减少缺陷率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

1.2提高生产效率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

保证产品质量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

2.1确保一致性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

2.2降低废品率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

四、高次碳化硅的高精度检测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

光学显微镜检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

1.1原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

1.2应用场景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

扫描电子显微镜(SEM)检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

2.1原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2应用场景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

透射电子显微镜(TEM)检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

3.1原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.2应用场景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

X射线衍射(XRD)分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

4.1原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

4.2应用场景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

红外光谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

5.1原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

5.2应用场景．．．．

您可能关注的文档

文档评论（0）

wkwgq + 关注: 实名认证

文档贡献者

该用户很懒，什么也没介绍

咨询Ta 进入空间

1亿VIP精品文档

更多 >

高精度检测技术：高次碳化硅应用.docxVIP