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无尘室清洁频率及规范;06;01;;;常见无尘室类型及其特点;02;不同生产工艺对洁净度的要求不同，需根据工艺特点确定清洁频率。;设备运行状态;;目测法;03;低级别无尘室清洁要求及步骤;使用专业无尘清洁工具，如洁净无尘布、洁净无尘拖把等；擦拭时轻轻抹擦，避免扬尘和划痕。;采用化学清洗、真空吸尘等更高级别的清洁方法，确保洁净度达到更高要求。;不同行业无尘室清洁差异对比
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