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福禄克测试仪器半导体行业应用产品手册.pdf

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福禄克测试仪器半导体行业应用产品手册

人工智能、智能驾驶等应用驱动下,半导体芯片电路设计越来越复

杂,对芯片设计及制造过程也提出更高要求。

福禄克测试解决方案应用于半导体行业关键流程:芯片研发热像检

测、芯片生产厂务系统运维、单晶硅片制备精准测温、薄膜沉积工

艺精准测温、晶片抛光精准测温等,您可通过此手册了解具体应用

信息和详细的技术内容。

A1

单晶硅制备精准控温单

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