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ICS23.160
CCSJ78
TGVS
团体标准
T/GVS014—2024
台
平
息
半导体设备用低温泵评价规范
信
Evaluationspecificationforcryogenicvacuumpumpsusedin
semiconductorequipment
准
标
体
团
国
全
2024-08-02发布2024-08-02实施
广东省真空学会发布
台
平
息
信
准
标
体
团
国
全
T/GVS014—2024
目次
前言II
台
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
平
4分类2
5基本要求2
6评价要求3
息
7评价方法4
8评价结果4
附录A（规范性）评价指标的权重5
信
附录B（规范性）200mm口径低温泵评价指标和判定依据6
附录C（规范性）300mm口径低温泵评价指标和判定依据10
参考文献14
准
标
体
团
国
全
I
T/GVS014—2024
前言台
本文件按照GB/T
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- 《GB/T 26949.5-2025工业车辆 稳定性验证 第5部分：侧面式叉车(单侧)》.pdf
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