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MEMS数字压力传感器设计：原理、技术与实例分析

一、引言

1.1MEMS数字压力传感器的重要性

在现代科技飞速发展的时代，MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）数字压力传感器凭借其独特的优势，在众多领域中发挥着举足轻重的作用，成为推动各行业技术进步和创新发展的关键因素之一。

在工业领域，MEMS数字压力传感器是实现工业自动化的重要基础。在化工生产中，精确监测反应釜内的压力对于确保化学反应的顺利进行以及安全生产至关重要。压力过高可能引发爆炸等严重事故，而压力过低则可能导致反应不完全，影响产品质量和生产效率。MEMS数字压力传感器能够实时