TCASME-电子工业用高纯氯化氢气体.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

T/CASME

中国中小商业企业协会团体标准

T/CASMEXXX—2022

电子工业用高纯氯化氢气体

Highpurityhydrogenchloridegasfortheelectronicsindustry

（征求意见稿）

2022-XX-XX发布2022-XX-XX实施

中国中小商业企业协会发布

T/CASMEXXX—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江瑞亨电子材料有限公司提出。

本文件由中国中小商业企业协会归口。

本文件起草单位：浙江瑞亨电子材料有限公司……

本文件主要起草人：……

I

T/CASMEXXX—2022

电子工业用高纯氯化氢气体

1范围

本文件规定了电子工业用高纯氯化氢气体的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存和安全警示。

本文件适用于以工业氯化氢为原料经纯化制得，主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺、

硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域的电子工业用高纯氯化氢气

体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T14602—2014电子工业用气体氯化氢

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分类

电子工业用高纯氯化氢气体按纯度分为：99.999％、99.9995％两个类别。

5技术要求

应符合表1的规定。

表1技术指标

指标

项目

99.999％99.9995％

氯化氢纯度（体积分数）/10-2≥99.99999.9995

氧+氩（O+Ar）含量（体积分数）/10-6≤1.00.5

2

氢（H）含量（体积分数）/10-6≤1.0

2

氮（N）含量（体积分数）/10-6≤