硅纳米线压阻系数尺度效应的建模与分析：从理论到实践.docx

硅纳米线压阻系数尺度效应的建模与分析：从理论到实践

一、绪论

1.1研究背景

随着科技的迅猛发展，微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）在众多领域展现出巨大的应用潜力，成为了现代科技研究的热点。从MEMS到NEMS，器件尺寸不断缩小，进入纳米尺度范围。在这一发展历程中，压阻效应作为实现力学信号与电学信号转换的关键机制，对于传感器性能起着决定性作用。然而，当器件尺寸进入纳米量级时，传统材料的压阻效应面临着诸多挑战，如压阻系数降低、性能不稳定等问题，严重限制了NEMS器件性能的进一步提升。

硅纳米线作为一种典型的纳米材料，具有独特的结构和优异的物理性能。与传统体硅材料相比，硅