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2025-04-10 发布于广东
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溅射技术改善BT板表面铜膜结构及其对电性能的影响分析

溅射技术改善BT板表面铜膜结构及其对电性能的影响分析（1）．．．．3

一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1BT板表面铜膜结构的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2溅射技术在改善铜膜结构中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究目的及价值．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

二、BT板及铜膜结构概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1BT板简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2铜膜结构及其特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.3铜膜制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

三、溅射技术原理及特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.1溅射技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2溅射技术原理与过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.3溅射技术的特点分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

四、溅射技术改善BT板表面铜膜结构的研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

4.1实验设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

4.2溅射技术处理过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.3铜膜结构表征与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

五、溅射技术改善铜膜结构对电性能的影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．20

5.1电导率变化分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.2电阻率变化研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.3电流分布均匀性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.4其他电性能参数的变化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

六、实验结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.1实验结果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

6.2结果分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

6.3实验结果对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

七、结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

7.1研究结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

7.2研究成果对行业的启示．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

7.3研究不足与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

八、文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

8.1关于BT板表面铜膜结构的研究文献．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

8.2关于溅射技术改善铜膜结构的研究文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．40

溅射技术改善BT板表面铜膜结构及其对电性能的影响分析（2）．．．42

溅射技术在BT板表面铜膜结构改进中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．42

BT板表面铜膜结构的形成机制与影响因素分析．．．．．．．．．．．．．．．43

溅射技术对BT板表面铜膜结构优化效果评估．．．．．．．．．．．．．．．．．44

电性能测试方法及标准概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

BT板表面铜膜结构优化对电性能的影响机理研究．．．．．．．．．．．．．46

BT板表面铜膜结构优化策略探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．

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