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真空系统设计;课程概述;第一章:真空技术基础;压力单位与换算;气体分子运动理论;真空中的气体流动;流动状态的判别;第二章:真空系统组成;真空测量装置;其他真空元件;第三章:真空泵;机械真空泵;分子泵;扩散泵;离子泵;低温泵;真空泵的选择;第四章:真空管道设计;流导计算;管道压力分布;真空管道布局;第五章:真空阀门;闸阀;球阀;蝶阀;角阀;电磁阀;第六章:真空测量;热偶真空规;电离规;电容膜片真空规;皮拉尼规;真空计的选择与使用;第七章:真空材料;金属材料;非金属材料;材料表面处理;第八章:真空密封;静态密封;动态密封;密封结构设计;第九章:真空室设计;真空室材料选择;真空室制造工艺;真空室附件设计;第十章:真空系统设计流程;真空度要求分析;真空泵选型与配置;管路系统设计;真空阀门配置;真空测量系统设计;真空室结构设计;辅助系统设计;控制系统设计;第十一章:真空系统安装与调试;真空系统运行与维护;;第十二章:真空系统应用实例;真空技术发展趋势;总结与展望
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