《集成电路制造工艺项目化实践》全套教学课件.pptx

《集成电路制造工艺项目化实践》项目1硅片制造工艺项目2薄膜制备项目3光刻项目4掺杂与蚀刻项目5晶圆测试工艺项目6晶圆贴膜与划片项目7芯片粘接与引线键合项目8芯片塑封与成型项目9转塔式设备芯片测试工艺项目10重力式设备芯片测试工艺项目11平移式设备芯片测试工艺全套可编辑PPT课件

项目1硅片制造工艺

项目导读本项目从第一个任务硅提纯入手，先让读者对硅片制造工艺有一个初步了解；然后详细介绍硅片制造的硅提纯、单晶硅生长等专业技能。通过单晶硅生长的任务实施，让读者进一步了解硅片制造工艺。知识目标1.了解硅片制造工艺2.掌握单晶硅片制备的工艺操作3.掌握单晶硅锭的质量评估4.会识读单晶硅片制备工艺相关的随件单技能目标1.能正确操作制备多晶硅的设备，设置相关设备的常规参数2.能正确操作单晶炉，设置单晶炉的常规参数教学重点1．单晶硅片制备的工艺2．硅提纯、单晶硅生长3．检验制备产物的质量教学难点硅提纯和单晶硅生长的实施建议学时6学时推荐教学方法从任务入手，通过硅提纯的操作，让读者了解单晶硅片制备的工艺操作，进而通过单晶硅生长的操作，熟悉单晶硅锭的质量评估推荐学习方法勤学勤练、动手操作是学好硅片制造工艺的关键，动手完成硅提纯和单晶硅生长任务实施，通过“边做边学”达到更好的学习效果本课件是可编辑的正常PPT课件

项目11.1.1集成电路制造工艺

1.1.1集成电路制造工艺知识目标1.掌握什么是集成电路2.了解集成电路制造工艺的四个主要环节本课件是可编辑的正常PPT课件

分立器件组成的电路集成电路1.什么是集成电路集成电路：IntegratedCircuit，缩写为IC,即把组成电路的大量的元器件及相互间的连线，通过半导体工艺集成在一起形成具有特定功能的电路1.1.1集成电路制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

2.集成电路制造工艺集成电路设计集成电路制造集成电路封装集成电路测试封装好的芯片1.1.1集成电路制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

1.1.1集成电路制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

1.1.1集成电路制造工艺硅片硅衬底晶圆wafer晶圆wafer晶粒裸晶die单元cell芯片集成电路Chip/IC硅棒硅锭本课件是可编辑的正常PPT课件

1.1.1集成电路制造工艺课程小结1.集成电路定义2.集成电路工艺的四个主要环节3.了解集成电路制造工艺中常用名词本课件是可编辑的正常PPT课件

项目11.1.2硅片制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

1.1.2硅片制造工艺知识目标1.了解单晶、多晶以及单晶硅、多晶硅的区别2.掌握硅片制造的主要工艺环节本课件是可编辑的正常PPT课件

1.单晶和多晶的区别单晶示意图多晶示意图1.1.2硅片制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

1.单晶和多晶的区别单晶示意图多晶示意图1.1.2硅片制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

2.单晶硅和多晶硅的区别多晶硅片单晶硅片1.1.2硅片制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

沙子（SiO2）多晶硅单晶硅0.5元/Kg1000元/Kg10000元/Kg2.单晶硅和多晶硅的区别1.1.2硅片制造工艺电子级硅（EG）：Si99.9999%以上，超高纯达到9～11个9太阳能级硅：99.99%~99.9999%,也就是4~6个9工业硅/冶金级硅/粗硅：90%~95%以上(98%)本课件是可编辑的正常PPT课件

1.1.2硅片制造工艺3.硅片制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

多晶硅（99.99...9%）硅提纯主要有三种方法：四氯化硅氢还原法，三氯氢硅还原法，硅烷热分解法1.1.2硅片制造工艺3.硅片制造工艺硅提纯单晶生长硅片制造粗硅（98%）制备示意图本课件是可编辑的正常PPT课件

3.硅片制造工艺硅提纯单晶生长硅片制造直拉法（CzochralskiCZ）把具有一定晶向的籽晶插入熔融硅中，控制一定的过冷温度，以一定的速度将籽晶缓慢提升并同时旋转籽晶轴，生长出新的晶体直拉法示意图1.1.2硅片制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

外形整理切片研磨倒角抛光清洗、检查3.硅片制造工艺1.1.2硅片制造工艺硅提纯单晶生长硅片制造本课件是可编辑的正常PPT课件

1.1.2硅片制造工艺本课件是可编辑的正常PPT课件

1.1.2硅片制造工艺知识总结1.单晶、多晶以及单晶硅、多晶硅的区别2.硅片制造的三个工艺环节本课件是可编辑的正常PPT课件

项目11.1.3硅片制造流程本课件是可编辑的正常PPT课件

1.