Cz-Si设备热场与磁场特性及交互作用分析：基于多物理场耦合视角.docx

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2025-04-12 发布于上海
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Cz-Si设备热场与磁场特性及交互作用分析：基于多物理场耦合视角.docx

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Cz-Si设备热场与磁场特性及交互作用分析：基于多物理场耦合视角

一、绪论

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，半导体产业作为信息技术的核心支撑，其重要性不言而喻。从日常使用的智能手机、电脑，到工业控制、通信基站、航空航天等关键领域，半导体器件无处不在，它们如同现代科技的“心脏”，驱动着各种电子设备的运行。而直拉单晶硅（Cz-Si）设备在半导体产业中占据着关键地位，是生产高质量单晶硅的核心装备。单晶硅作为半导体器件的基础材料，其质量直接决定了后续芯片及各类半导体产品的性能、可靠性和制造成本。

在Cz-Si设备中，热场和磁场是影响晶体生长质量的两个关键因素。热场分布决定了晶