有色金属-铱靶材编制说明.doc

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《铱靶材》有色行业标准

编制说明

（预审稿）

《铱靶材》标准编制组

2025年4月

一、工作简况

1.1任务来源

根据2024年4月全国有色金属标准化技术委员会《关于转发2024年第一批有色金属国家标准、行业标准团体标准制(修)订项目计划及征集起草单位的通知》（有色标委[2024]39号）的要求，有色行业标准《铱靶材》项目由全国有色金属标准化技术委员会归口，项目计划编号：2024-0074T-YS,完成年限为2026年3月，标准起草单位为：云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司。有色行业标准项目《铱靶材》由：云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司、云南贵金属实验室有限公司等单位共同制订。

1.2标准制定的必要性

铱是一种银白色的贵金属材料，具有高熔点、良好的耐腐蚀性能和高温抗氧化性能，使得铱及其合金在耐高温、抗腐蚀等领域有着不可替代的作用。铱的传统应用主要有航空发动机的电火花塞、氧化物晶体如蓝宝石等制备过程中所使用的铱坩埚、高温热电偶和抗氧化涂层等。近年来，随着现代电子信息技术的发展，铱及其合金的应用范围不断扩大，其应用逐渐由块体材料向功能薄膜发展，铱及铱合金薄膜的重要性日益凸显。

靶材是一种具有高附加值的特种电子产品。通常铱及铱合金薄膜是通过铱及铱合金靶材，采用磁控溅射、离子束溅射等物理气相沉积的方法制备而成。由于其较强的化学稳定性、优良的导电性和导热性，被广泛应用于括航空航天、半导体、新能源汽车等领域，比如，铱涂层是目前抗氧化涂层的首选材料，同时，铱也是半导体存储、微电子机械系统（MEMS）、反铁磁自旋器件中使用的关键材料，其主要用途是半导体存储CMOS电容器中的氧势垒材料、微电子机械系统（MEMS）中的电极层和磁电子器件中的反铁磁钉扎层。随着铱功能膜层结构的升级，对铱薄膜的成分和厚度均匀性提出了更高的要求，这样就需要对铱靶材的成分、杂质、以及批次稳定性等都需要有更进一步的改善。

铱属于铂族金属，主要矿产地为南非、津巴布韦等地，我国没有规模以上的矿产铱，国产铱主要来自废旧铱产品等的回收提纯。同时，铱存在低温脆性和高温塑性的确定，具有较大的加工难度。近年来，随着我国电子行业的发展，对稀贵金属溅射靶材的需求也不断增加，我国已经成为稀贵金属靶材的使用大国，随着国内相关领域如微电子机械系统及自旋电子器件等的商业化进程加速发展，对铱靶材的需求逐渐增加。

1.3标准项目的可行性及拟解决的问题

随着国内相关产业和应用的发展，铱靶材正朝着大尺寸、超高纯度和性能稳定性方向发展。制定并建立铱靶材行业标准，对于保证产品质量，规范行业发展，促进相关技术进步具有重要的意义。近年来，铱靶材作为一种重要的功能膜用靶材使用越来越广泛且用量也越来越大。通常,铱靶材是通过采用熔铸和热机械处理的方法制造而成,目前国外均有企业能提供该类产品，但对这类靶材的化学成分、尺寸和的要求尚无相应的国际、行业的标准。同时，靶材是工信部、国资委、市场监管总局、国家知识产权局等四部门联合发布的《原材料工业“三品”实施方案》（工信厅联原[2022]24号）原材料品种培优工程新所列材料品种、属于《新材料标准领航行动计划（2018-2020年）》国质检标联[2018]77号）中第二部分第4条所涉及的先进半导体材料的关键材料，讨论并制定铱靶材的标准是十分必要和迫切的。

对于铱靶材没有符合的国家和行业标准，基于以上现状认为制定本行业关于铱靶材的标准十分必要和紧迫。

本标准根据客户现有的技术要求，结合了铱靶材未来5~10年的技术发展趋势，规范了产品的的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容等作出了详细的说明。

从文献调研的结果看，本标准所定的各项技术指标是先进的和合理的。按本标准所定的各项技术指标生产的产品，质量稳定可靠，可满足客户使用要求。

1.4主要参加单位和工作成员及其所作的工作

本标准的编制组由云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司、云南贵金属实验室有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、有研亿金新材料有限公司等单位组成。

1.4.1主要起草单位情况

云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司（简称贵金属集团），是集贵金属系列功能材料研究、开发和生产经营于一体的高新技术企业。前身为始建于1928年的“国立中央研究院工程研究所”，1962年更名为贵金属研究所，1999年改制为科技型企业，2000年发起设立贵研铂业股份有限公司，2003年在上海证券交易所上市，2016年成立贵金属集团，2022年在云南省属国企中率先实现整体上市。贵金属集团开创了中国的贵金属领域，被誉为“铂族摇篮”，入选国务院国资委创建世界一流专业领军示范企业。目前位居贵金属领域国内第一、全球第五。近5年产业规模连续