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微纳光电子器件与光电转换技术
目录
微纳光电子器件与光电转换技术（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1光电子器件概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.2光电转换技术背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
二、微纳光电子器件基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.1微纳光电子器件的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.2微纳光电子器件的结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.3微纳光电子器件的材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
三、光电转换技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
3.1光电转换基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.2光电转换效率影响因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
3.3光电转换技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
四、关键微纳光电子器件．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
4.1微纳光波导器件．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
4.2微纳激光器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
4.3微纳光电探测器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
五、光电转换技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
5.1太阳能电池技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
5.2光伏发电系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
5.3光电子传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
六、微纳光电子器件制造技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
6.1微纳加工技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
6.2光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
6.3化学气相沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
七、光电转换技术挑战与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
7.1技术挑战分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
7.2未来发展趋势预测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
7.3技术创新与突破．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
八、结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
8.1研究总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
8.2未来研究方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
微纳光电子器件与光电转换技术（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
一、内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
目的和意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
二、微纳光电子器件的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
微纳光电子器件定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
发展历程与现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
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