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多晶硅磁控溅射靶材项目发展计划
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多晶硅磁控溅射靶材项目发展计划
目录
TOC\h\z6098序言 3
32655一、建设规划分析 3
7256(一)、产品规划 3
12267(二)、建设规模 4
17818二、工艺先进性 5
10440(一)、多晶硅磁控溅射靶材项目建设期的原辅材料保障 5
4668(二)、多晶硅磁控溅射靶材项目运营期的原辅材料采购与管理 6
24029(三)、技术管理的独特特色 7
24623(四)、多晶硅磁控溅射靶材项目工艺技术设计方案 9
29187(五)、设备选型的智能化方案 10
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