INOVANCE汇川PU800系列中频电源用户手册-中文.PDF

前言

前言

资料简介

PU800‑T020‑2‑G1具有双路20kW方波输出，最大输出电压可达800V，可实现40kHz~200kHz的

输出频率调节。

PU800依靠稳定的电路设计及先进的输出控制算法，有效降低输出功率、电压、电流波动，提升

输出稳定性，提升膜层均匀性。内置4种电弧检测算法，可实现敏捷电弧检测和电弧抑制，减少

膜层损伤。

该电源适用于物理气相沉积（PVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等镀膜设备，尤其

适用于光伏电池片POLY隧穿层镀膜设备。

本手册介绍中频方波电源的功能特性及使用方法，包括产品选型、安装、现场调试、故障诊断及

日常保养与维护等相关说明及注意事项。

版本变更记录

修订日期发布版本变更内容

2025‑02A00手册第一次发布。

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保修声明

正常使用情况下，产品发生故障或损坏，汇川技术提供保修期内的保修服务（产品保修期请详见

订货单）。超过保修期，将收取维修费用。

保修期内，以下情况造成的产品损坏，将收取维修费用。

●不按手册中的规定操作本产品，造成的产品损坏。

●火灾、水灾、电压异常，造成的产品损坏。

●将本产品用于非正常功能，造成的产品损坏。

●超出产品规定的使用范围，造成的产品损坏。

●不可抗力（自然灾害、地震、雷击）因素引起的产品二次损坏。

有关服务费用按照厂家统一标准计算，如有契约，以契约优先的原则处理。

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前言

详细保修说明请参见《产品保修卡》。

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目录

目录

前言1

安全注意事项7

1产品信息11

1.1型号与铭牌说明11

1.2产品规格12

1.2.1电气规格12

1.2.2功能规格12

1.2.3环境规格14

1.3部件说明14

1.4产品尺寸16

1.5原理简介16

1.6系统连接图17

2存储与搬运18

2.1存储18

2.2开箱18

2.2.1开箱注意事项18

2.2.2装箱清单19

2.2.3开箱步骤19

2.2.4开箱后检查19

2.3搬运20

2.3.1搬运注意事项20

2.3.2开箱前搬运21

3机械安装23

3.1安全提示23

3.2安装流程图24

3.3安装前准备24

3.3.1安装人员要求24

3.3.2安装环境要求24

3.3.3冷却要求25

3.3.4安装空间要求25

3.3.5安装工具准备26

3.4安装方式说明27

3.5安装前检查28

3.6安装电源29

3.7安装水冷管30

3.8安装后检查31

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目录

4电气安装32

4.1安全提示32

4.2电气连接图33