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材料领域新突破：椭圆偏振光谱的应用研究

目录

材料领域新突破：椭圆偏振光谱的应用研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．4

一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1材料领域研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2椭圆偏振光谱技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

二、椭圆偏振光谱基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1光的椭圆偏振性质．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2椭圆偏振光谱的产生．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.3椭圆偏振光谱分析原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

三、椭圆偏振光谱在材料研究中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1椭圆偏振光谱在晶体结构分析中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1.1晶体结构特征识别．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.1.2晶粒取向分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2椭圆偏振光谱在薄膜材料研究中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.2.1薄膜厚度测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.2.2薄膜成分分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.3椭圆偏振光谱在纳米材料研究中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.3.1纳米颗粒尺寸分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

3.3.2纳米材料形貌观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

四、实验方法与设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

4.1实验材料与样品制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

4.2椭圆偏振光谱仪操作步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

4.3数据采集与分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

五、典型材料研究案例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

5.1某新型半导体材料的晶体结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

5.2某高性能薄膜材料的成分与厚度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

5.3某纳米材料颗粒尺寸与形貌观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

六、结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

6.1椭圆偏振光谱在材料分析中的优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

6.2椭圆偏振光谱技术的局限性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

6.3椭圆偏振光谱技术的未来发展方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

七、结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

7.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

7.2对材料领域研究的贡献．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

7.3对椭圆偏振光谱技术发展的展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

材料领域新突破：椭圆偏振光谱的应用研究（2）．．．．．．．．．．．．．．．．46

材料科学领域创新进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

1.1材料光谱学技术的新进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

1.2椭圆偏振光谱技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

1.2.1椭圆偏振光谱的基本原理．．．．．．．．．．．