QBCNS011-2024半导体用高纯 硅烷.pdf

QB/CNS

浙江中宁硅业股份有限公司企业标准

S

浙江省标准化公共QB/CNS011-2024

服务平

半导体用高纯硅烷台

high-puritySilaneforsemiconductors

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2024-07-25发布2024-08-01实施

浙江中宁硅业股份有限公司发布

浙江中宁硅业股份有限公司QB/CNS011-2024

前言

浙

本标准是在参照国家标准《电子工业用气体硅烷》的基础上，结合我公司电子级硅烷生产、试验的实际情况而

江

制定的。本标准的制定能满足用户对电子级硅烷的质量要求。本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。

省

本标准由浙江中宁硅业股份有限公司提出并口。

标

本标准起草单位：浙江中宁硅业股份有限公司。

准

本标准由中宁硅业股份有限公司品管部起草。化

本标准主要起草人：栗广奉、耿金春、赵斌、郑安雄、吴希湖、陈超、许胜霞、孙惠龙、王欢、周志

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浙江中宁硅业股份有限公司QB/CNS011-2024

半导体用高纯硅烷（SiH）

4

1范围

本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存和安全等内容。

本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的高纯

浙

硅烷，它主要用于半导体行业。

分子式：SiH4江省

相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。

2规范性引用文件标准化

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，

公

仅注日期的版本适用于本文件，凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本适用于本标准。

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GB/T3723工业用化学产品采样安全通则平

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浙

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