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静电开关动态响应的数学建模与特性分析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）作为多学科交叉融合的前沿领域，正深刻地改变着人们的生活和生产方式。从智能手机中的加速度计和陀螺仪，到生物医学领域的微型传感器与执行器，MEMS以其微小尺寸、低能耗、高灵敏度和可批量生产等显著优势，广泛应用于通信、航空航天、汽车电子、生物医疗等诸多关键领域，成为推动现代科技进步的重要力量。

静电开关作为MEMS的关键基础元件之一，在MEMS器件中扮演着举足轻重的角色。其工作原理基于静电力驱动，通过