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傅里叶红外光谱在椭偏薄膜测量技术中的应用

目录

傅里叶红外光谱在椭偏薄膜测量技术中的应用（1）．．．．．．．．．．．．．．3

内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

椭偏薄膜测量技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1椭偏薄膜的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2椭偏薄膜的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.3椭偏薄膜的性能表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

傅里叶红外光谱原理简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1红外光谱的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2傅里叶变换及其在红外光谱中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.3傅里叶红外光谱的特点与应用优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

傅里叶红外光谱在椭偏薄膜测量中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

4.1红外光谱法测量椭偏薄膜厚度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.2红外光谱法分析椭偏薄膜成分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.3红外光谱法评估椭偏薄膜性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

实验部分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

5.1实验材料与设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.2实验步骤与参数设置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.3数据采集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

6.1实验结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

6.2误差分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.3应用前景展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

傅里叶红外光谱在椭偏薄膜测量技术中的应用（2）．．．．．．．．．．．．．30

内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

1.1椭偏薄膜测量技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

1.2傅里叶红外光谱技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

1.3椭偏薄膜测量与傅里叶红外光谱结合的意义．．．．．．．．．．．．．．．．32

椭偏薄膜测量技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

2.1椭偏仪工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

2.2薄膜厚度与椭偏参数的关系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.3椭偏薄膜测量的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

傅里叶红外光谱技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.1红外光谱基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

3.2傅里叶变换红外光谱技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.3傅里叶红外光谱在材料分析中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

椭偏薄膜测量与傅里叶红外光谱结合的技术方法．．．．．．．．．．．．．45

4.1椭偏薄膜测量系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

4.2傅里叶红外光谱系统配置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．