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CCSH09
团体标准
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三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范
信
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全
2025-03-03发布2025-03-03实施
中国化学品安全协会发布
中国标准出版社出版
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目次
前言…………………………Ⅲ
台
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………2
平
4设计与总图布局…………………………2
4.1基本要求……………2
4.2总平面布置…………………………3
息
4.3工艺及生产装置……………………3
、…………
4.4防火防爆设计与安全疏散4
4.5电气设施……………5
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