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《三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范》（TCCSAS 052-2025）.pdfVIP

《三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范》（TCCSAS 052-2025）.pdf

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    ICS13.100

    CCSH09

    团体标准

    /—

    TCCSAS0522025

    台

    平

    息

    三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

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    Safettechnicalsecificationsforolsiliconroductionbtrichlorosilane

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    团

    国

    全

    2025-03-03发布2025-03-03实施

    中国化学品安全协会发布

    中国标准出版社出版

    /—

    TCCSAS0522025

    目次

    前言…………………………Ⅲ

    台

    1范围………………………1

    2规范性引用文件…………………………1

    3术语和定义………………2

    平

    4设计与总图布局…………………………2

    4.1基本要求……………2

    4.2总平面布置…………………………3

    息

    4.3工艺及生产装置……………………3

    、…………

    4.4防火防爆设计与安全疏散4

    4.5电气设施……………5

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