《三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范》（TCCSAS 052-2025）.pdfVIP

ICS13.100

CCSH09

团体标准

/—

TCCSAS0522025

台

平

息

三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

信

Safettechnicalsecificationsforolsiliconroductionbtrichlorosilane

yppypy

reductionmethod

准

标

体

团

国

全

2025-03-03发布2025-03-03实施

中国化学品安全协会发布

中国标准出版社出版

/—

TCCSAS0522025

目次

前言…………………………Ⅲ

台

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………2

平

4设计与总图布局…………………………2

4.1基本要求……………2

4.2总平面布置…………………………3

息

4.3工艺及生产装置……………………3

、…………

4.4防火防爆设计与安全疏散4

4.5电气设施……………5