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等离子体沉积和刻蚀设备项目安全风险评价报告

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等离子体沉积和刻蚀设备项目安全风险评价报告

目录

TOC\o1-9概论 4

一、评价等离子体沉积和刻蚀设备项目概述 4

(一)、被评价单位的基本情况 4

(二)、等离子体沉积和刻蚀设备行业企业所在地的自然条件 5

(三)、企业选址及平面布置 7

(四)、生产工艺、装置、储存设施基本情况 8

(五)、建筑、公用工程 10

(六)、安全管理 11

(七)、关于事故应急救援预案的审定 12

二、安全评价程序与评价方法 14

(一)、安全评价程序 14

(二)、划分评价单元 15

(三)、确定