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广东先导微电子半导体特气与管理体系知识试卷
1.以下哪种衬底材料主要用于射频器件和无线通讯领域？
A.InP
B.Ge
C.GaAs(正确答案)
D.Si
2.锗（Ge）衬底在以下哪种应用中具有显著优势？
A.消费电子
B.空间飞行器太阳能电池(正确答案)
C.5G基站
D.LED照明
3.三甲基镓（TMGa）主要用于哪种工艺？
A.刻蚀
B.MOCVD含镓薄膜沉积(正确答案)
C.离子注入
D.化学机械抛光
4.以下哪种气体是刻蚀工艺中的关键电子特气？
A.锗烷（GeH4）
B.三氟化氮（NF3）(正确答案)
C.磷烷（PH3）
D.乙硼烷（B2H6）
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