《真空技术基础》课件.pptVIP

真空技术基础;课程概述;第一章：真空的基本概念;真空的物理特性;真空中的气体行为;真空度单位;第二章：真空系统组成;真空腔体设计原则;真空系统的泄漏;第三章：真空泵概述;机械真空泵;旋片式真空泵工作原理;罗茨真空泵工作原理;螺杆真空泵工作原理;分子泵和涡轮分子泵;扩散泵;低温泵;离子泵和溅射离子泵;真空泵的选择;第四章：真空测量技术;机械式真空规;热偶真空规;电离规;电容式真空规;皮拉尼真空规;真空规的校准;第五章：真空阀门;常用真空阀门类型;真空阀门的选择;第六章：真空系统设计;真空系统设计案例;真空管道设计;真空系统的抽气速率计算;真空系统的极限压力估算;第七章：真空材料;金属真空材料;非金属真空材料;真空密封材料;第八章：真空清洁与表面处理;机械清洁;化学清洁;真空烘烤;第九章：真空镀膜技术;蒸发镀膜;溅射镀膜;离子镀;化学气相沉积（CVD）;第十章：真空检漏技术;氦质谱检漏;卤素检漏;压力升降法;第十一章：真空安全;真空设备操作安全;真空系统事故预防;第十二章：真空技术应用;真空技术在半导体行业的应用;真空技术在显示面板制造中的应用;真空技术在航空航天领域的应用;真空技术在食品包装中的应用;