真空技术 真空泵性能测量标准方法 第6部分：低温真空泵 编制说明.docx

《真空技术真空泵性能测量标准方法第6部分：低温真空泵》

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1、任务来源

本项目是根据国标委国家标准制修订计划（国标委发[2025]3号文），计划编号T-604，项目名称“真空技术真空泵性能测量标准方法第6部分：低温真空泵”进行制定。主要起草单位北京卫星环境工程研究所，计划应完成时间为2026年。

2、主要工作过程

起草（草案、论证）阶段：2025年2月10日，北京卫星环境工程研究所收到计划批复文件。作为标准制定的组织单位及主要起草单位，为了高质量、按时完成本次国家标准的编制起草工作，组织成立“真空技术真空泵性能测量标准方法第6部分：低温真空泵”起草工作组，确定草案的工作方案，负责草案的编写和进度控制。该项目等同转化ISO21360-6：2023，工作组广泛调研了低温真空泵的相关标准及文献，并对业内的低温真空泵产品做了调研、分析，确定了本标准的主框架、完成了标准草案初稿。随后，工作组组织了标准审查会对标准草案和编制说明进行了详细的审查，对必须注意的事项作了深入讨论与研究，提出了修改意见，对草案初稿作了进一步的补充完善，形成标准征求意见稿，于2025年3月17日报至秘书处。

征求意见阶段：经标委会秘书处审核，于2025年4月8日由工作组牵头负责通过网站宣传、杂志登载、微信公众号登载等方式公开征求意见。

二、标准编制原则和主要内容

1、标准编制原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定工作，且与技术创新、试验验证、产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

本标准起草过程中，主要参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》的要求进行编写。在标准转化过程中，综合考虑生产企业的能力和用户的利益，寻求最大的经济、社会效益，充分体现了标准在技术上的先进性和技术上的合理性。

2、标准主要内容

本标准等同采用ISO21360-6：2023《Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part6：Cryogenicvacuumpump》。

标准的内容包含：本标准规定了低温真空泵性能参数测试方法实施的适用范围、术语定义、测试准备、测试方法（含抽气速率的测量、抽气容量的测量、渡越容量的测试、最低工作压力的测试、最大抽气能力的测量、降温时间的测试等）及测试程序、测试报告等相关内容。

3、解决的主要问题

本标准等同采用ISO21360-6：2023，是对GB/T40344.1的补充与完善。针对低温泵降温时间测试方法多种问题，提出了多模式可比对的降温时间测试方法，统一规范了测试内容和测试过程，另外因低温泵特有的渡越容量测试无标准方法，建立了定量化的渡越容量测试方法与系统模型，可有效指导生产企业开展测试工作。本标准的发布实施一方面规范了低温真空泵的测试标准，为低温泵设计、制造、验收、检测及使用环节提供规范指导，便于制造商、应用方和客户的选型和使用，规范了产品评价体系，为市场提供了一个统一的评价尺度，实现国内外产品的性能比对，有利于开展对标达标。同时，也为真空泵产业提供良好的技术支撑，促进产品技术提升与性能优化，对规范市场，指导生产，提高产品的技术性能和安全可靠性，更好地满足市场和使用需要，加速推进我国低温泵在核心技术攻关、工艺优化及市场拓展等环节的转型升级具有十分重要的作用。

三、主要试验（或验证）情况

本标准是方法标准，不需要进行试验或验证。

四、标准中涉及专利的情况

本标准不涉及专利问题。

五、预期达到的社会效益、对产业发展的作用等情况

低温真空泵是洁净、高效、稳定、性能优越的真空泵，由于其抽速大、极限真空度高、工作端无运动部件、性能稳定等众多优点，在真空镀膜、芯片制造、高能物理、实验室、检测医疗设备、生命科学、高能物理、航空航天等国家重点发展领域，随着材料、制造技术的发展，低温真空泵已经逐步成为核心关键设备，为我国载人航天、深空探测、高能物理研究等重大专项提供所洁净高真空环境，支撑和推动了我国《十四五发展纲要》中微纳电子、集成电路、生命科学、空天科技等重点领域的发展。

本标准的制定进一步推进了真空泵产业结构的优化升级，推动了我国低温真空泵先进装备制造技