基于流动水层的皮秒激光诱导等离子体微加工工艺：机理、优化与应用探索.docx

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2025-04-17 发布于上海
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基于流动水层的皮秒激光诱导等离子体微加工工艺：机理、优化与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，微加工技术作为制造微小结构和器件的关键手段，在众多领域发挥着愈发重要的作用，已成为衡量一个国家制造业水平和科技实力的重要标志之一。从电子信息领域的芯片制造，到生物医学领域的微流控芯片、细胞操控，再到航空航天领域的微型传感器、精密零部件加工，微加工技术的应用无处不在。其发展水平直接影响着这些领域的创新能力和产业竞争力，推动着各领域向更高精度、更小尺寸、更复杂功能的方向迈进。

在微加工技术的发展历程中，激光微加工技术凭借其独特的优势脱颖而出。它具有非接触式加工、精度高、灵活