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注入机的组成和工作原理

注入机的组成和工作原理

储建伟

摘要〔Abstract〕

本文的目的主要是对过去所学的总结、整理,信任对的设备工程师也有肯定的帮助。由于我对注入设备了解不够，本文还缺乏肯定的实践，必定还存在不少缺点和错误，殷切期望各位同事和领导能赐予批判和指正。

引言〔Introduction〕

离子注入机是一个体积浩大且构造简单的半导体工艺设备，依照注入机所能供给的杂质离子的浓度来区分，现在批量生产的注入机，主要分为高电流及中电流两种型式，分别代表电流约在10mA及1mA左右的离子束。本文主要涉及设备方面。

主要内容

整个离子注入机最主要的局部有：

用以产生离